射流圓孔靶的制備和靶參數(shù)測量

摘要： 介紹了X射線激光射流實驗中Al和CH兩種射流圓孔靶的制備方法。分別采用精密機械和皮秒激光加工工藝在Al和CH薄膜上制備精密、微小的圓孔,再通過精密裝配的方法獲得射流圓孔靶。使用白光干涉儀和小型量測儀對射流圓孔靶進行靶參數(shù)測量,測量圖像和數(shù)據(jù)表明,Al和CH薄膜圓孔的孔徑較圓且兩面大小一致性較好,靶的兩層薄膜分界面清晰且連接緊密。 （共4頁）