光柵復(fù)制拼接光路中入射光角度對拼接誤差的影響

摘要： 設(shè)計了一種基于干涉檢驗法的復(fù)制拼接光柵測量光路。針對光柵復(fù)制拼接光路中入射光角度難以精確測量的問題,分析了光柵拼接實驗中入射光角度對光柵拼接的影響。建立了光柵拼接誤差模型,分析了五維拼接誤差的容限要求。按照光柵復(fù)制拼接光路的要求,設(shè)計了一種干涉儀角度調(diào)節(jié)裝置。根據(jù)誤差模型和拼接光路分析了500mm×500mm大尺寸中階梯光柵復(fù)制拼接光路中入射光角度誤差與拼接誤差的關(guān)系。結(jié)果顯示:入射光角度誤差為1°,拼接光路中繞x軸,y軸的轉(zhuǎn)動誤差Δθx,Δθy和沿z軸的位移誤差Δz的計算值與實際值之間分別相差0.002 1μrad,0.003 3μrad和0.348 2nm時,引起波前差為2.590 1nm。根據(jù)這一計算結(jié)果,給出了干涉儀角度調(diào)節(jié)裝置的設(shè)計指標(biāo),即設(shè)置角度調(diào)節(jié)分度為0.1°時,可滿足大尺寸光柵復(fù)制拼接要求。 （共7頁）