溶膠-凝膠法制備硅酸鋯薄膜

摘要： 采用酸催化溶膠-凝膠法于n型單晶硅基片表面制備出硅酸鋯薄膜。運(yùn)用XRD、SEM等分析測(cè)試手段對(duì)比了酸催化、回流和陳化三種不同凝膠化工藝對(duì)薄膜的相組成和顯微形貌的影響。通過(guò)粘度-時(shí)間曲線觀察了溶膠的穩(wěn)定性并通過(guò)FT-IR研究了溶膠水解縮聚的過(guò)程。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:相比酸催化和回流工藝,采用HNO_3調(diào)節(jié)pH值至1時(shí),可以有效緩解正硅酸乙酯的快速水解縮聚,制備出均勻穩(wěn)定的硅酸鋯溶膠,經(jīng)提拉鍍膜、900℃煅燒0.5 h得到致密光滑的硅酸鋯薄膜,能夠有效防止NaOH強(qiáng)堿溶液對(duì)單晶硅片基底的腐蝕。 （共7頁(yè)）