失調(diào)同軸三反消像散系統(tǒng)消彗差補(bǔ)償

摘要： 三階彗差是同軸三反消像散(TMA)光學(xué)系統(tǒng)鏡面失調(diào)產(chǎn)生的主要像差之一。使用矢量像差理論分析了同軸TMA光學(xué)系統(tǒng)失調(diào)后彗差變化特性,給出了次鏡和三鏡像差偏移矢量的求解方法及公式,并推導(dǎo)了系統(tǒng)次鏡和三鏡失調(diào)導(dǎo)致的彗差增量系數(shù)公式,證明了三鏡在X-Y平面內(nèi)偏心產(chǎn)生的彗差可以通過(guò)一個(gè)固定比例的次鏡偏心量完全補(bǔ)償,提出了次鏡對(duì)偏心三鏡的消彗差補(bǔ)償條件、次鏡和三鏡各自的X-Y平面偏心無(wú)彗差條件。計(jì)算了同軸TMA光學(xué)系統(tǒng)中三鏡失調(diào)的兩個(gè)例子,在消彗差補(bǔ)償條件下,經(jīng)過(guò)次鏡主動(dòng)偏心補(bǔ)償,全視場(chǎng)均值彗差增量?jī)H為未失調(diào)前的0.6%和1.9%,證明了消彗差補(bǔ)償條件的正確性。 （共9頁(yè)）