基于雙光子聚合效應(yīng)加工大深寬比納米柱子和超構(gòu)表面的研究

摘要： 文章基于雙光子聚合(TPP)效應(yīng)，即雙光子光刻(TPL)3D打印技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了超衍射極限和高復(fù)雜結(jié)構(gòu)的加工，實(shí)現(xiàn)了加工大深寬比的納米柱子及由這些納米柱子構(gòu)成的超構(gòu)表面。本文研究了不同TPP工藝參數(shù)對(duì)IP-Dip光刻膠微結(jié)構(gòu)尺寸的影響，同時(shí)對(duì)這些參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化。文章的創(chuàng)新在以下兩點(diǎn)：(1)分析了不同激光參數(shù)下納米柱的尺寸變化，同時(shí)找出線(xiàn)寬最小對(duì)應(yīng)的閾值參數(shù)來(lái)制備大深寬比的納米結(jié)構(gòu)。... （共8頁(yè)）