摘要： 針對(duì)大數(shù)值孔徑顯微成像技術(shù)對(duì)物鏡位移臺(tái)提出的長(zhǎng)行程、高精度和大負(fù)載的要求，提出了一種非線性魯棒運(yùn)動(dòng)控制策略以實(shí)現(xiàn)物鏡位移臺(tái)的精密運(yùn)動(dòng)。設(shè)計(jì)了大數(shù)值孔徑顯微鏡的光路系統(tǒng)、虛擬樣機(jī)以及由滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)的物鏡位移臺(tái)，采用雙螺母預(yù)緊的方式消除滾珠絲杠傳動(dòng)間隙。將自適應(yīng)技術(shù)引入非奇異終端滑?？刂疲瑢?shí)現(xiàn)系統(tǒng)狀態(tài)的有限時(shí)間收斂，提高系統(tǒng)魯棒性。針對(duì)滾珠絲杠傳動(dòng)機(jī)構(gòu)內(nèi)部的非線性摩擦效應(yīng)，采用時(shí)延... （共10頁）