摘要： 對(duì)雙面鍍膜法制備高面形精度濾光器件進(jìn)行研究，通過(guò)在一面沉積帶通濾光膜，另外一面沉積應(yīng)力/形變匹配膜層的方式，制備了外徑Φ25 mm，徑厚比為10∶1的HWB900基底高面形精度帶通濾光膜。測(cè)試結(jié)果顯示：在通帶1 215 nm～1 265 nm波段的平均透過(guò)率■≥92%，截止帶900 nm～1 135 nm、1 345 nm～1 700 nm內(nèi)透過(guò)率■<1%，鍍膜后零件2個(gè)表面的... （共7頁(yè)）