摘要： 硅微機械陀螺儀激勵電極及讀出電極間存在寄生電容，進而在讀出信號中引入與其同頻同相的饋通干擾信號。針對此現(xiàn)象，采用時域法對饋通干擾下力平衡模式的零偏特性進行理論推導，通過Simulink仿真及實驗對結(jié)論進行驗證。研究表明：饋通干擾導致力平衡模式驅(qū)動力一定時，陀螺零偏隨模態(tài)頻差改變發(fā)生變化。隨后根據(jù)硅微機械陀螺儀靜電力生成原理，設(shè)計一種采用半頻諧振信號檢測環(huán)路力平衡的控制系統(tǒng)，并通... （共6頁）