摘要： 在引力波探測(cè)系統(tǒng)中，要實(shí)現(xiàn)對(duì)引力波的高精度測(cè)量，超光滑光學(xué)元件散射特性至關(guān)重要。然而，現(xiàn)有光學(xué)元件表面特性參數(shù)測(cè)量方法難以滿足超光滑光學(xué)元件的測(cè)量需求。針對(duì)這一難題，提出了一種基于GBK(Generalized Beckmann-Kirchhoff)標(biāo)量散射模型的光學(xué)元件表面特性參數(shù)預(yù)測(cè)方法。利用GBK標(biāo)量散射模型和基于光腔衰蕩技術(shù)的表面散射測(cè)量方法，建立了表征超光滑光學(xué)元件表... （共9頁）