摘要： 針對(duì)形位誤差高精度測(cè)量的要求，利用位置敏感探測(cè)器(PSD)具有高精度、高靈敏度、響應(yīng)迅速、易于與其他系統(tǒng)集成等優(yōu)點(diǎn)，搭建了以激光光束為基準(zhǔn)線，二維位置敏感探測(cè)器為光電轉(zhuǎn)化器件的形位誤差測(cè)量系統(tǒng)，通過移動(dòng)終端軟件可實(shí)時(shí)顯示采樣點(diǎn)相對(duì)于基準(zhǔn)線的位置變化并以最小二乘法快速輸出形位誤差評(píng)定結(jié)果，相較于傳統(tǒng)測(cè)量方法更快速更穩(wěn)定。系統(tǒng)對(duì)直線導(dǎo)軌的直線度進(jìn)行測(cè)量并從單點(diǎn)測(cè)量和綜合測(cè)量系統(tǒng)兩個(gè)... （共7頁(yè)）