摘要： 基于矢量像差理論，推導(dǎo)了離軸反射系統(tǒng)的失調(diào)像差表達(dá)式，提出一種高效的離軸反射系統(tǒng)裝調(diào)方法。通過分析發(fā)現(xiàn)失調(diào)離軸系統(tǒng)不會引入新形式的像差，只是由于光瞳縮放因子的原因，相較于同軸母系統(tǒng)，其幾項初級像差會進(jìn)行縮放，且高級孔徑像差會部分轉(zhuǎn)化為低階孔徑像差；利用Zemax軟件對離軸雙反系統(tǒng)進(jìn)行仿真，驗證了失調(diào)像差表達(dá)式，模擬裝調(diào)的失調(diào)量達(dá)到了10^-4mm數(shù)量級。最后，利用該計算方法... （共6頁）