摘要： 以液態(tài)金屬平面作為基準標定立式激光干涉儀時，由于液態(tài)金屬的高反射率會導致光強無法匹配，難以得到對比度良好的干涉圖。為解決這一問題，采取利用金屬篩網的衰減光強方法。該方法利用金屬篩網的衍射效應來衰減光強，使得光強匹配，并進一步分析金屬篩網目數的選擇以及如何抑制引入的誤差。推導了零級衍射效率與篩網目數的關系，并在Zygo GPI4英寸干涉儀中進行實驗驗證，結果表明：篩網目數選擇區(qū)間... （共7頁）