摘要： 為實現(xiàn)更小縮小比進(jìn)而獲得更高運動精度的靈活運動空間，設(shè)計了一種無附加運動的二級縮小微動機(jī)構(gòu)及壓電陶瓷致動器組成的微動系統(tǒng)，并對其驅(qū)動性能、運動性能和動態(tài)性能進(jìn)行研究?；谌嵝糟q鏈杠桿原理及附加運動平衡原理，設(shè)計了一種無附加運動的二級縮小微動機(jī)構(gòu)，可實現(xiàn)輸入位移精密縮??；采用壓電陶瓷致動器驅(qū)動二級縮小微動機(jī)構(gòu)，組成二級縮小微動系統(tǒng)；采用有限元法完成系統(tǒng)驅(qū)動性能、運動性能及動態(tài)性能... （共8頁）