摘要： 基于熱發(fā)泡打印原理，采用互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體-微電子機(jī)械系統(tǒng)(CMOS-MEMS)技術(shù)設(shè)計(jì)了一種可以產(chǎn)生細(xì)胞球的微流控芯片，通過調(diào)整打印次數(shù)控制細(xì)胞球的直徑。該芯片通過控制底層的CMOS電路驅(qū)動(dòng)電阻發(fā)熱，從而帶動(dòng)MEMS微結(jié)構(gòu)中的細(xì)胞懸液被噴射到指定位置并形成細(xì)胞球。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：打印過程中，該芯片對(duì)CHO細(xì)胞活性基本無損傷，且可以制備出平均直徑250.4～449.1μm范圍內(nèi)... （共7頁）