摘要： n型襯底擴散片擴散深度(X_(jn+))是n~+/n~-型硅襯底擴散片最重要的參數(shù)之一，X_(jn+)的理論計算對磷擴散生產(chǎn)和X_(jn+)測試具有重要的指導意義。但現(xiàn)有擴散理論計算結(jié)果與實驗數(shù)據(jù)差異較大，需更精準的計算方法。通過實驗對X_(jn+)的測試與理論計算結(jié)果進行對比分析，引入了修正系數(shù)k_n與k_p,得到理論計算與測試結(jié)果吻合的X_(jn+)計算方法。并根據(jù)修正后的... （共7頁）