粗微疊層式硅片臺數(shù)據(jù)驅(qū)動MIMO前饋控制
摘要: 光刻機(jī)中承載晶圓進(jìn)行圖像曝光的硅片臺是一個典型的多輸入多輸出(multi-input multi-output,MIMO)超精密運動系統(tǒng),MIMO前饋控制技術(shù)是抑制各自由度耦合誤差的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。針對光刻機(jī)粗微疊層式結(jié)構(gòu)的硅片臺,文中基于主從控制架構(gòu),提出一種微動臺和粗動臺MIMO前饋控制方法。該前饋采用線性參數(shù)化結(jié)構(gòu),以微分單元為基函數(shù),將控制器的參數(shù)整定問題轉(zhuǎn)化為一個凸優(yōu)化問題... (共11頁)
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