摘要： 越來(lái)越多關(guān)于微型離子泵新思路、新想法的產(chǎn)生以及新結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的提出，為目前微型真空電子元件的工作和真空度維護(hù)等問(wèn)題提供了更多的解決方法。微型電離真空計(jì)與微型濺射離子泵在結(jié)構(gòu)和原理上有許多相似之處，將這兩種器件結(jié)合在一起，能夠同時(shí)實(shí)現(xiàn)兩種功能并且大大減小半導(dǎo)體整體體積，文章在一種微型電離真空計(jì)的基礎(chǔ)上設(shè)計(jì)了一種微型濺射離子泵，該離子泵單獨(dú)作為主泵在10^-3 Pa-10^-4... （共7頁(yè)）