摘要： 吸氣劑對維持MEMS(Micro-Electro-Mechanical System）器件真空度起著至關(guān)重要的作用，目前常見的提升吸氣劑性能的方法是在大比表面積的多孔支架上沉積吸氣劑。為了驗證多孔結(jié)構(gòu)對提升吸氣劑性能的突出作用，使用分子動力學(xué)仿真軟件Lammps對薄膜型吸氣劑和多孔支架吸氣劑的吸附行為進(jìn)行了仿真，仿真結(jié)果表明多孔支架吸氣劑的吸氣量是薄膜型吸氣劑的2.69倍。使用... （共7頁）