摘要： 先進(jìn)半導(dǎo)體制程中需要對等離子體離化率和轟擊能量進(jìn)行精準(zhǔn)控制，傳統(tǒng)單頻系統(tǒng)難以實(shí)現(xiàn)上述目標(biāo)，進(jìn)而提出復(fù)頻信號控制?；趯﹄p頻射頻電源系統(tǒng)的進(jìn)一步需求，開發(fā)雙頻匹配器以便實(shí)現(xiàn)在不同頻率下的阻抗匹配具有重要的意義。文章基于二極管幅-相檢測電路，設(shè)計(jì)一款雙頻自動阻抗匹配器電路，并分別進(jìn)行檢測模組、匹配架構(gòu)以及尋優(yōu)算法等相關(guān)機(jī)理分析。通過研究表明，Urms可以表征射頻電源與腔室之間的匹配... （共7頁）