摘要： 超寬帶分光鏡是光譜分析系統(tǒng)中不可缺少的光學元件，其性能直接影響傅里葉紅外光譜儀的測試精度。依據光學薄膜理論，選用Ge、ZnSe和YbF3作為鍍膜材料，結合基板實際光譜曲線，通過光譜補償設計方法，結合TFC軟件完成膜系設計。采用電子束蒸發(fā)離子束輔助沉積技術進行薄膜制備，通過優(yōu)化沉積工藝，解決了分光鏡制備過程中膜厚控制誤差大導致光譜差的問題。使用Spectrum Two傅里葉紅外光... （共7頁）