摘要： 為了提高壓電超聲換能器在高溫下的機(jī)電轉(zhuǎn)換效率和穩(wěn)定性，設(shè)計(jì)了一種基于玻璃空腔襯底的高溫壓電超聲換能器，并對(duì)其進(jìn)行了結(jié)構(gòu)優(yōu)化。通過(guò)有限元仿真、器件制作和實(shí)驗(yàn)測(cè)試，分析了玻璃空腔尺寸和工作溫度對(duì)有效機(jī)電耦合系數(shù)、諧振頻率、阻抗曲線的影響規(guī)律。結(jié)果表明：經(jīng)優(yōu)化后的玻璃空腔襯底可將機(jī)電耦合性能顯著提升43.6%,在250℃下阻抗頻率特性基本保持穩(wěn)定不變，諧振頻率僅下降4.3%。采用研制... （共6頁(yè)）