摘要： TiN涂層因良好的耐腐蝕、導電性能在金屬雙極板改性領域被廣泛應用。TiN沉積過程中易受制備條件影響而形成非金屬空位,進而影響涂層性能。因此,本研究利用第一性原理方法計算了含有不同非金屬空位量的TiN_x體系的電子結構,展開了非金屬空位對各TiN_x體系的晶體結構、能帶結構、態(tài)密度、自由電子相對濃度及電荷布居影響研究。分析結果表明,隨著非金屬空位的形成,各TiN_x體系穩(wěn)定性逐漸... （共6頁）