砷化鎵廢料回收再生研究進展

摘要： 隨著科技的進步與發(fā)展，以砷化鎵為代表的二代半導(dǎo)體材料已逐漸取代硅材料應(yīng)用于電子通訊、國防、航空航天等領(lǐng)域。每年在砷化鎵晶體制備、設(shè)計加工、產(chǎn)品應(yīng)用環(huán)節(jié)都會產(chǎn)生大量廢料亟待處理。砷化鎵廢料作為含砷有毒廢棄物，蘊藏著品位高、存量大的砷、鎵資源，近年來砷化鎵廢料的清潔、高效回收受到廣泛關(guān)注。從砷化鎵產(chǎn)業(yè)鏈角度出發(fā)，總結(jié)了上、中、下游產(chǎn)生的砷化鎵廢料來源與成分間的差異，詳細綜述了砷化鎵... （共16頁）