摘要： 介紹了一種采用40 V高壓雙極工藝制作的新型集成隱埋齊納二極管的穩(wěn)定性研究。這種新型隱埋齊納二極管擊穿電壓值可調(diào)，齊納擊穿區(qū)避開表面，隱埋在硅體內(nèi)，且內(nèi)阻小、噪聲低。首先分析了40 V高壓雙極工藝現(xiàn)有的次表面集成齊納二極管長期穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性不足的原因，接著介紹了新型集成隱埋齊納二級管的工作機理。對新型集成隱埋齊納二極管開展了老化試驗，通過分析試驗數(shù)據(jù)驗證了新型集成隱埋齊納管結... （共7頁）