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溫變環(huán)境下引腳互連結(jié)構(gòu)長期可靠性研究及優(yōu)化

微電子學(xué) 頁數(shù): 6 2024-06-25
摘要: 基于陶瓷基板-金屬管殼引腳互連結(jié)構(gòu),通過溫度循環(huán)試驗與有限元仿真分析,得出了互連結(jié)構(gòu)在溫變荷載作用下的熱應(yīng)力分布圖,研究結(jié)果表明:在長期溫度循環(huán)試驗后,互連結(jié)構(gòu)產(chǎn)生裂紋的主要原因是焊錫、引腳與陶瓷基板之間熱膨脹系數(shù)不匹配導(dǎo)致的應(yīng)力積累。給出了引腳互連結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計方案,通過仿真分析與試驗研究,表明優(yōu)化后的互連結(jié)構(gòu)具有更高的長期可靠性。 (共6頁)

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