摘要： 為解決具有深孔、微槽、弧面等復(fù)雜特征微器件的高精度測(cè)量問(wèn)題，需要采用微納米接觸式測(cè)頭和白光干涉測(cè)頭進(jìn)行復(fù)合測(cè)量。而在這兩種測(cè)頭構(gòu)成的復(fù)合測(cè)量系統(tǒng)中，現(xiàn)有標(biāo)準(zhǔn)器無(wú)法對(duì)其進(jìn)行高精度的坐標(biāo)統(tǒng)一。因此，根據(jù)兩種測(cè)頭的測(cè)量原理，提出一種三棱臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)器來(lái)實(shí)現(xiàn)坐標(biāo)統(tǒng)一。根據(jù)三棱臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)器的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，基于幾何原理，建立標(biāo)準(zhǔn)器幾何參數(shù)及其平面度對(duì)基準(zhǔn)點(diǎn)坐標(biāo)精度影響的數(shù)學(xué)模型。根據(jù)數(shù)學(xué)模型進(jìn)行數(shù)值仿真... （共8頁(yè)）