摘要： 針對(duì)目前二維光柵設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)單一、與實(shí)際結(jié)構(gòu)不匹配的問(wèn)題，提出一種金屬-介質(zhì)二維光柵。該光柵不僅具有優(yōu)異的偏振無(wú)關(guān)性和高衍射效率，而且其結(jié)構(gòu)更符合實(shí)際制備的形貌?；陔p光束正交曝光單周期干涉場(chǎng)強(qiáng)度分布，構(gòu)建基于光強(qiáng)輪廓的二維光柵設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)，采用傅里葉模態(tài)法和粒子群算法對(duì)光柵進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)。結(jié)果表明，最優(yōu)參數(shù)下，設(shè)計(jì)的二維光柵在波長(zhǎng)為780 nm處以Littrow角入射時(shí)，橫電、橫磁偏振... （共9頁(yè)）