摘要： 可變光衰減器（Variable optical attenuator,VOA）廣泛應(yīng)用于光通信和光電子系統(tǒng)中，然而很少有VOA陣列的報(bào)道。本文提出一種基于液體光闌的微流控VOA陣列，利用螺旋形軌道實(shí)現(xiàn)多光束能量同步非等量衰減，或者使用環(huán)形軌道同步等量衰減，其中液體光闌的通光孔徑通過(guò)介質(zhì)上電潤(rùn)濕效應(yīng)調(diào)節(jié)。該VOA陣列結(jié)構(gòu)緊湊、體積小、操作簡(jiǎn)單、成本低，可靈活調(diào)整多光束之間的衰減比... （共6頁(yè)）