摘要： 光調制反射光譜因其高靈敏的特性而廣泛的用于研究半導體及其表面與界面特性?；诠鈻殴庾V儀其測量光路根據分光順序的不同可以分為前置分光構型（暗構型）與后置分光構型（亮構型）。本文以InP/In_(0.52)Ga_(0.48)As/InP異質結外延結構為例，闡述了兩種光路構型的不同特點和適用條件。揭示前分光構型能很好地分離熒光譜線與調制譜線；后分光構型則有利于采用較強調制激光而有效提... （共6頁）