摘要： 球差校正掃描透射電子顯微鏡(scanning transmission electron microscope, STEM)是一種重要的微觀結(jié)構(gòu)表征手段。然而，由于電子束和樣品漂移等問題，極大影響了STEM圖像的質(zhì)量和后續(xù)分析。針對(duì)上述問題，本文引入機(jī)器學(xué)習(xí)，改進(jìn)了原子識(shí)別的方法，并在此基礎(chǔ)上進(jìn)行了元素分類；另外，針對(duì)單張STEM圖像，在原子識(shí)別的基礎(chǔ)上，提出了快速非線性漂移校... （共8頁(yè)）