摘要： 由FIB與SEM結(jié)合而成的雙束系統(tǒng)擁有高精度微納加工能力的同時也具有超高空間分辨率成像功能。在微納尺度下使用雙目立體視覺進(jìn)行三維重建對指導(dǎo)微納材料加工等具有重要意義。本文提出了一種基于雙目視覺的FIB-SEM雙束系統(tǒng)圖像三維重建方案：利用雙目視覺結(jié)合圖像處理技術(shù)測量出樣品表面的深度信息。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，該方法顯著提高了微納樣品表面深度信息的精準(zhǔn)度，為SEM圖像三維構(gòu)建提供了新的思... （共13頁）