摘要： 目的 通過電化學(xué)實(shí)驗(yàn)確定化學(xué)機(jī)械拋光液成分，并以此進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光實(shí)驗(yàn)，通過響應(yīng)面法確定最佳工藝參數(shù)方案。方法 通過電化學(xué)實(shí)驗(yàn)結(jié)果確定甘氨酸和過硫酸鈉、過氧化氫2種氧化劑的最佳組合與配比，以此配制拋光液進(jìn)行不同機(jī)械參數(shù)的CMP實(shí)驗(yàn)，選擇拋光壓力、拋光盤轉(zhuǎn)速、拋光液流3種工藝參數(shù)，取值分別為6.5～9.5 kg、30～90 r/min、45～105 mL/min，利用響應(yīng)面實(shí)驗(yàn)法... （共11頁）