摘要： 對一種基于銻化銦材料的太赫茲超表面折射率傳感器進行了理論研究和仿真驗證。利用頻域有限差分法對該反射器的反射性能進行研究和分析，通過優(yōu)化材料厚度、刻蝕結構周期長度及寬度等，確定了可以同時提高靈敏度和反射率的特征尺寸并分析了透射和反射光譜。結果表明，該傳感器在0～1.0 THz工作頻段內(nèi)的最大折射率靈敏度和品質(zhì)因數(shù)分別為620 GHz/RIU和25.2,比傳統(tǒng)的傳感器靈敏度高三倍。... （共6頁）