摘要： 表面微放電（SMD）在不同的領(lǐng)域有著越來(lái)越廣泛的應(yīng)用。為了深入理解其放電特性及介質(zhì)片性質(zhì)的影響，基于放電物理過(guò)程及SMD特有的放電結(jié)構(gòu)，建立了等效電路模型，并聯(lián)立Boltzmann方程求解器求解電子連續(xù)性方程，得到氣隙電壓、等離子體電阻及電子密度等特性參數(shù)。結(jié)果表明，對(duì)于同一種類(lèi)不同厚度的介質(zhì)片，功率相同時(shí)的放電面積及各特性參數(shù)一致，對(duì)于不同種類(lèi)的介質(zhì)片，介電常數(shù)較大的介質(zhì)片下... （共10頁(yè)）