入射光場分布對超分辨光瞳濾波器超分辨性能和焦深的影響

摘要： 光瞳濾波器是一種重要的調(diào)控焦點處光強分布的器件。借助光的標量衍射理論,研究了不同的入射光場分布對超分辨光瞳濾波器的超分辨性能和焦深的影響。研究結(jié)果表明:在入射總光能相同的情況下,光場以高斯函數(shù)分布入射時,與均勻光入射相比,其超分辨性能和焦深擴展特性變化很小。當(dāng)光場以零階貝塞爾函數(shù)分布入射時,光斑壓縮比基本不變,斯特雷爾比有所下降,焦深有一定擴展。當(dāng)光場以一階貝塞爾函數(shù)分布入射時,光斑壓縮比有所減小,斯特雷爾比有較大提高,焦深有所減小?？傊?在相同情況下,光束的光強分布越靠近邊緣,越有利于實現(xiàn)超分辨,斯特雷爾比和焦深兩個量中其中一個的增大以另一個的減小為代價。 （共7頁）