一種可吸收垂直入射光的管狀量子阱紅外探測(cè)器

摘要： 基于傳統(tǒng)的光刻和化學(xué)濕法腐蝕工藝,通過卷曲技術(shù),提出一種三維管狀量子阱紅外探測(cè)器.該管狀器件相比于未卷曲的平面器件,在垂直入射光照下,展現(xiàn)了優(yōu)良的暗電流、黑體響應(yīng)和光電流響應(yīng)率特性曲線.當(dāng)工作溫度60 K、偏置電壓0.45 V時(shí),管狀器件峰值響應(yīng)率為20.6 mA/W,峰值波長(zhǎng)3.62μm,最大量子效率2.3%.從幾何光學(xué)的角度分析了管狀器件的垂直光吸收原理,進(jìn)而揭示了一種特殊的光耦合方式.測(cè)試了不同角度入射光照射下的光電流響應(yīng)率譜.由于微管的近似圓形對(duì)稱性,器件具有很寬的視角,有助于紅外探測(cè)系統(tǒng)的設(shè)計(jì). （共6頁）