新型分立傾斜式微變形鏡研究

摘要： 基于微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)微加工工藝,提出了一種新型分立傾斜式變形鏡(DM)設(shè)計,并加工制作了3×4變形鏡陣列。該結(jié)構(gòu)每個鏡面單元對應(yīng)一個驅(qū)動器,實現(xiàn)了連續(xù)面形的分立驅(qū)動,并且可有效釋放工藝過程中產(chǎn)生的殘余應(yīng)力,從而降低鏡面的翹曲?；趶椥岳碚搶υ撟冃午R的電壓位移關(guān)系以及諧振頻率進行了數(shù)值計算,并利用有限元軟件對其進行了仿真,同時采用光學(xué)輪廓儀對樣品進行了測試。實驗結(jié)果表明,所制作的變形鏡陣列可實現(xiàn)平移和傾斜運動,在3.75 V電壓下可達到0.76μm的行程,與理論分析和模擬仿真結(jié)果一致。與傳統(tǒng)分立傾斜式變形鏡相比,該新型分立傾斜式變形鏡具有較低的驅(qū)動電壓、較少的驅(qū)動器數(shù)量,適用于集成度高且與集成電路(IC)單片集成的變形鏡設(shè)計。 （共6頁）