基于LabVIEW的溫控系統(tǒng)

摘要： 襯底沉積溫度是影響薄膜生長(zhǎng)形態(tài)的關(guān)鍵因素。針對(duì)超高真空薄膜生長(zhǎng)中對(duì)襯底沉積溫度恒溫控制需求,文中討論了基于電阻加熱和液氦制冷相結(jié)合的溫控系統(tǒng),詳細(xì)論述了LabVIEW環(huán)境下的溫控系統(tǒng)應(yīng)用軟件設(shè)計(jì)思路,該應(yīng)用軟件通過(guò)VISA接口與精密溫度控制儀進(jìn)行數(shù)據(jù)通信,依據(jù)其內(nèi)置的PID控制算法,實(shí)現(xiàn)溫度控制。測(cè)試試驗(yàn)表明:該系統(tǒng)具體良好的恒溫效果,能夠滿足超過(guò)超高真空薄膜生長(zhǎng)時(shí)對(duì)襯底沉積溫度的溫控要求,具有很高的實(shí)用價(jià)值。 （共3頁(yè)）