摘要： 采用微波等離子體化學氣相沉積設備對單晶金剛石襯底進行氫等離子體處理，形成氫終端金剛石表面空穴電導，制備氫終端肖特基二極管。二極管采用金作為陰極金屬，鋁作為肖特基金屬。接著通過金線鍵合技術制備了RF-DC電路。二極管表現(xiàn)出良好的整流特性，在正向電壓為-5 V時，電流大小為1.13 mA。RF-DC電路采用了雙金剛石肖特基二極管，確保信號輸入的全周期都能保持工作。在10 MHz頻段... （共5頁）